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2所承担的国家科技重大专项三个课题全部完成客户现场验收
新闻来源: 发布日期:2011-06-07 阅读:2134
        近日,2所承担的国家科技部“02重大专项—极大规模集成电路制造装备及成套工艺”三个课题——等离子清洗设备及工艺技术的研发及产业化项目、高速自动电镀生产线的研发及产业化项目、无氧化烘箱的研发及产业化项目顺利通过客户现场验收,按期完成了课题节点任务目标。
 
        三个课题的顺利验收,标志着2所的尖端科研水平有了新的提升,为我所承担“十二五”重大科研项目奠定了良好的基础。
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