近日，2所承担的国家科技部“02重大专项—极大规模集成电路制造装备及成套工艺”三个课题——等离子清洗设备及工艺技术的研发及产业化项目、高速自动电镀生产线的研发及产业化项目、无氧化烘箱的研发及产业化项目顺利通过客户现场验收，按期完成了课题节点任务目标。

 

        三个课题的顺利验收，标志着2所的尖端科研水平有了新的提升，为我所承担“十二五”重大科研项目奠定了良好的基础。